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分析项目 | 指 标 | ||
四氟化碳(CF4)纯度(体积分数)/10-2 ≥ | 99.999 | 99.995 | 99.99 |
氮(N2)含量(体积分数)/10-6 < | 4 | 20 | 40 |
氧+氩(O2+Ar)含量(体积分数)/10-6 < | 1 | 5 | 10 |
二氧化碳(CO2)含量(体积分数)/10-6 < | 1 | 5 | 10 |
一氧化碳(CO)含量(体积分数)/10-6 < | 0.1 | 0.5 | 1 |
六氟化硫(SF6)含量(体积分数)/10-6 < | 1 | 1 | 5 |
水分(H2O)含量(体积分数)/含量,10-6 < | 3 | 5 | 10 |
酸度(以HF计)含量含量(体积分数)/10-6 < | 0.1 | 0.3 | 0.3 |
其它卤碳化合物a含量(体积分数)/10-6 < | 1 | 10 | 30 |
总杂质含量(体积分数)/l0-6 ≤ | 10 | 50 | 10 |
颗粒 | 双方商定 | 双方商定 | 双方商定 |
其它卤碳化合物包括:六氟乙烷、八氟丙烷等。 | | | |
柱温箱 | |
控温范围 | 室温+5℃~450℃; |
温度设定精度 | 0.1℃ |
程序升温速度 | 60℃/min |
程升阶数 | 8阶程序升温 |
程升速率 | 0.1~120℃/min(增量0.1℃) |
大运行时间 | 999.99分钟 |
可运行柱流失补偿(双通道) | |
加热区 | |
6个独立控制加热区控制(不包括炉箱温控,两个进样口、两个检测器、;两个辅助加热区 | |
辅助加热区使用温度 | 300℃ |
检测器 | |
氦离子化检测器(PDD) | |
放电模式: | · 脉冲放电 |
基线噪声: | · ≤0.1mv |
· 基线漂移: | · ≤0.5mv/30min |
检测限: | · ≤1.0×10-10g/ml |
载气纯化器 | |
可纯化气体: | · He、Ar、Ne、Kr、Xe、Rn |
操作压力: | · 1000Psi |
去除气体: | · H2、O2、N2、CO、CO2、CH4、H2O、NO、NH3、CF4等 |
残留浓度: | · ≤10ppb |
更新时间:2024/4/28 16:49:36